セラミック材料 TACコーティンググラファイトウエハキャリア GAN及びSIC薄膜形成装置向け モメンティブ・テクノロジーは、炭化タンタル（TaC）コーティングとして知られる独自のコーティング技術を提供しています。 その高温での安定性及び耐化学品特性によりTaCがグラファイト反応炉部品の寿命を延ばし、LED, DUV, パワーエレクトロニクスに使われるGaN及びSiC デバイスのプロセス収率と製品品質を向上させることができます。 製品の特長 >2200℃での高温安定性 超高純度 H2, NH3及びSiH4に対する耐性 耐熱衝撃性 グラファイトへの高接着性 コーティングカバレッジ性 直径750mmまでの拡張性 主な用途 ウエハキャリア 誘導加熱サセプタ 加熱電極 サテライトディスク シャワーヘッド インジェクションノズル マスキングリング 遮熱板 高結晶性及び高均質性のTACコーティング 10µm 300µm 1500℃NH3環境下におけるTAC及びSICの耐腐食性 TaCとSiCコーティングの代表的な物性の比較 密度 (gm/cm3) Emissivity(1) CTE (x10-6/K) 硬度 (HK) 抵抗率 (Ohm-cm) 耐熱性 Etch Rate(2) in NH3 (μm/hr) Etch Rate(3) in H3 (μm/hr) 厚みのばらつき グラファイトの寸法変化 TaC 14.3 0.3 6.3 2000 1x10-5 >2200 °C 0.2 0.1 ~5% ~17 μm SiC 3.2 0.8 4.5 2800 2x10-3 <1600 °C 1.5 1.7 ~10% ~100 μm 注記：テストデータ、 実際の結果と異なる場合があります。物性は一般的なものであり開発のための規格値ではありません(1) 放射率 950nm/1000℃での値(2) NH3でのエッチングレート 1400℃/500Torrでの値(3) H2でのエッチングレート 1400℃/760Torrでの値 製品データシートをダウンロード TACコーティンググラファイトウエハキャリア メール* Emailこのフィールドは入力チェック用です。変更しないでください。 4465214989 詳細情報 TACコーティンググラファイトウエハキャリア Hidden言語 名前* 名 姓 Eメールアドレス* 電話番号*国*国AfghanistanAlbaniaAlgeriaAmerican SamoaAndorraAngolaAnguillaAntarcticaAntigua and BarbudaArgentinaArmeniaArubaAustraliaAustriaAzerbaijanBahamasBahrainBangladeshBarbadosBelarusBelgiumBelizeBeninBermudaBhutanBoliviaBonaire, Sint Eustatius and SabaBosnia and HerzegovinaBotswanaBouvet IslandBrazilBritish Indian Ocean TerritoryBrunei DarussalamBulgariaBurkina FasoBurundiCabo VerdeCambodiaCameroonCanadaCayman IslandsCentral African RepublicChadChileChinaChristmas IslandCocos IslandsColombiaComorosCongoCongo, Democratic Republic of theCook IslandsCosta RicaCroatiaCubaCuraçaoCyprusCzechiaCôte d'IvoireDenmarkDjiboutiDominicaDominican RepublicEcuadorEgyptEl SalvadorEquatorial GuineaEritreaEstoniaEswatiniEthiopiaFalkland IslandsFaroe IslandsFijiFinlandFranceFrench GuianaFrench PolynesiaFrench Southern TerritoriesGabonGambiaGeorgiaGermanyGhanaGibraltarGreeceGreenlandGrenadaGuadeloupeGuamGuatemalaGuernseyGuineaGuinea-BissauGuyanaHaitiHeard Island and McDonald IslandsHoly SeeHondurasHong KongHungaryIcelandIndiaIndonesiaIranIraqIrelandIsle of ManIsraelItalyJamaicaJapanJerseyJordanKazakhstanKenyaKiribatiKorea, Democratic People's Republic ofKorea, Republic ofKuwaitKyrgyzstanLao People's Democratic RepublicLatviaLebanonLesothoLiberiaLibyaLiechtensteinLithuaniaLuxembourgMacaoMadagascarMalawiMalaysiaMaldivesMaliMaltaMarshall IslandsMartiniqueMauritaniaMauritiusMayotteMexicoMicronesiaMoldovaMonacoMongoliaMontenegroMontserratMoroccoMozambiqueMyanmarNamibiaNauruNepalNetherlandsNew CaledoniaNew ZealandNicaraguaNigerNigeriaNiueNorfolk IslandNorth MacedoniaNorthern Mariana IslandsNorwayOmanPakistanPalauPalestine, State ofPanamaPapua New GuineaParaguayPeruPhilippinesPitcairnPolandPortugalPuerto RicoQatarRomaniaRussian FederationRwandaRéunionSaint BarthélemySaint Helena, Ascension and Tristan da CunhaSaint Kitts and NevisSaint LuciaSaint MartinSaint Pierre and MiquelonSaint Vincent and the GrenadinesSamoaSan MarinoSao Tome and PrincipeSaudi ArabiaSenegalSerbiaSeychellesSierra LeoneSingaporeSint MaartenSlovakiaSloveniaSolomon IslandsSomaliaSouth AfricaSouth Georgia and the South Sandwich IslandsSouth SudanSpainSri LankaSudanSurinameSvalbard and Jan MayenSwedenSwitzerlandSyria Arab RepublicTaiwanTajikistanTanzania, the United Republic ofThailandTimor-LesteTogoTokelauTongaTrinidad and TobagoTunisiaTurkmenistanTurks and Caicos IslandsTuvaluTürkiyeUS Minor Outlying IslandsUgandaUkraineUnited Arab EmiratesUnited KingdomUnited StatesUruguayUzbekistanVanuatuVenezuelaViet NamVirgin Islands, BritishVirgin Islands, U.S.Wallis and FutunaWestern SaharaYemenZambiaZimbabweÅland IslandsCommentsこのフィールドは入力チェック用です。変更しないでください。 7249214989
