石英製品
石英ガラスるつぼ
単結晶シリコン製造用
半導体デバイスの材料である単結晶シリコンを製造する石英ガラスるつぼは、半導体デバイスの原材料に直接触れるため、過酷な条件にさらされます。 当社のるつぼは、かなり高い純度と耐久性を持っています。 また、長期間使用してもブローホールが膨らまないという優れた特性もあります。
製品の特長
- ユーザー様のニーズに合わせてサイズ、材質、特性をカスタマイズ可能です。
- 世界中の地域の営業所は、迅速で行き届いた現地サポートを保証します
- 直径14インチから36インチまで幅広いサイズに対応しております。
主要ユーザー
- 世界有数のシリコンウエハーメーカー
製品グレード
| グレード | 概要 |
|---|---|
|
530-595 |
Natural sand grade – MT Germany, MT China |
|
541 |
Synthetic silica inner surface – MT Germany |
|
T240 |
Synthetic silica inner surface – MT Yamagata |
るつぼの概略図
標準サイズ
| Size | OD | W1 | W2 | W3 | R1 | R2 |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
14″ |
363 ± 3 |
8 ± 3 |
8 ± 3 |
8 ± 3 |
381 |
90 |
|
16″ |
404 ± 3 |
9 ± 3 |
9 ± 3 |
9 ± 3 |
406 |
90 |
|
18″ |
457 ± 3 |
10 ± 3 |
10 ± 3 |
10 ± 3 |
457 |
90 |
|
20″ |
507 ± 3 |
10 ± 3 |
10 ± 3 |
10 ± 3 |
507 |
100 |
|
22″ |
556 ± 3 |
10 ± 3 |
10 ± 3 |
10 ± 3 |
558 |
110 |
|
24″ |
607 ± 3 |
12 ± 3 |
15 ± 3 |
12 ± 3 |
610 |
120 |
|
28″ |
708 ± 4 |
13 ± 4 |
15 ± 4 |
13 ± 4 |
708 |
140 |
|
32″ |
809 ± 4 |
14 ± 5 |
23 ± 5 |
15 ± 5 |
810 |
160 |
|
36″ |
909 ± 5 |
17 ± 4 |
28 ± 5 |
17 ± 4 |
910 |
180 |
このチャートに記載の情報は、情報提供のみを目的としています。 この情報は、製品や材料を推奨するものではなく、特定の使用ケースやニーズに情報を適用する際には、お客様ご自身の専門知識と専門的な判断を用いていただくことを明示的な条件として、お客様に提供されています これは一般的な情報のみであり、その有効性は、モメンティブ・テクノロジーズが把握していない個々の要因によって影響を受ける可能性があります。 この情報を使用する方は、特定の状況に関して適切な解釈と適用を行う責任があります。
